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機能水製造装置

半導体、液晶、マスク等の洗浄工程において、薬品洗浄の代替として数多く使用されています。
高濃度、大流量等、御要望に応じたスペックの装置を御提案致します。

  • 機能水製造装置

用途例

  • 半導体用洗浄
  • ディスプレイ洗浄
  • マスク洗浄
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